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热处理软磁合金达到优异性能的 一道关键工序。它是通过控制加热温度、保温时间、冷却速度和冷却方式，在一定的加热介质中，改变合金的内部组织结构和磁结构，以获得所需的磁性能。软磁合金的热处理包括高温退火和磁场热处理等。
（1）高温退火。目的是消除加工应力，脱除对软磁性能有害的非金属夹杂，使晶粒再结晶并充分均匀长大，形成晶粒取向。高温退火有氢气热处理和真空热处理两种，后者主要处理非真空熔炼合金和含有易氧化元素的合金。为了改变软磁合金在有序-无序转变时的有序度，从而调整磁晶各向异性常数K1和磁致伸缩系数λs，以获得更好的磁性，通常是通过控制冷却速度或改变Tc以下的保温时间来达到。
（2）磁场热处理。某些软磁合金经磁场热处理后可形成单轴感生磁各向异性和磁织构，从而改变合金的磁化行为。特别是磁晶各向异性比较小的合金，这种感生磁各向异性就起主要作用。例如65%Ni-Fe合金，在慢冷条件下K1≈0，因此经磁场热处理后，当沿外加磁场方向测量磁性时，其磁滞回线为矩形;当沿垂直于外加磁场方向测量时，其磁滞回线为扁平形。磁场热处理的工艺制度有两种：一种是将合金加热到略高于居里温度，然后在磁场中冷却;另一种是在略低于居里温度下保温，并加磁场进行热处理。处理过程中磁场施加的方式也有两种：即纵向和横向。前者磁场方向与材料工作过程中的磁化方向一致，后者是相互垂直。 [2]